Mùa hè năm 580, Tuyên Đế đột nhiên lâm bệnh và băng hà. Cha của hoàng hậu Dương Lệ Hoa là Dương Kiên nhiếp chính. Trong lúc 3 hoàng hậu của Tuyên Đế là Trần Nguyệt Nghi, Nguyên Lạc Thượng và Uất Trì Sí Phồn đã xuất gia tu hành thì Chu Mãn Nguyệt được phong thành Đế thái hậu (帝太后) dưới triều con trai mình là Tĩnh Đế.

Trong vòng một năm, Dương Kiên đã đoạt lấy ngai vàng, chấm dứt triều Bắc Chu và thiết lập triều Tùy. Tĩnh Đế và cả hoàng tộc Bắc Chu bị thảm sát. Chu Mãn Nguyệt xuất gia tu hành với pháp hiệu Pháp Tịnh (法淨). Bà qua đời năm 586 và an táng với lễ nghi Phật tử ở phía đông Trường An.